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专利名称：旋转靶材制备设备专利类型：发明专利
发明人：黄宇彬,阿南·辛格·迪欧达特,谭继军,谭建林,文崇斌,
朱刘
申请号：CN201711478720.9申请日：20171229公开号：CN108193180A公开日：20180622
摘要：本发明提供了一种旋转靶材制备设备，由加热装置对靶材原料进行加热，使得靶材原料热熔为可液态状态，喷出装置与加热装置连通，可将融化的靶材原料喷出。喷涂装置与喷出装置对接，待成型的靶材管材沿其轴向与喷涂装置内的喷涂通道通过，喷涂装置上设置喷涂腔，喷出装置通过喷涂腔通入喷涂通道内，待成型靶材管材穿过喷涂通道的过程中，可通过喷出装置将融化的靶材原料喷涂到靶材管材的表面，喷涂过程连续，可直接制备一体结构的旋转靶材，无需在通过分块绑定的方式制备，靶材原料的直接喷涂可实现对靶材原料的有效利用，降低了旋转靶材的制备难度，降低了靶材损耗。
申请人：清远先导材料有限公司
地址：511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：李海建
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