专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：介层窗的制造方法专利类型：发明专利发明人：郑培仁,李宗晔申请号：CN02141853.5申请日：20020822公开号：CN1477694A公开日：20040225
摘要：一种介层窗的制造方法，先在具有金属层的基底上形成一层介电层覆盖于金属层上。接着，利用微影与蚀刻工艺图案化介电层，直到暴露出金属层顶部，以形成介层窗开口。接着，于介层窗开口表面形成一层薄氮化钛层覆盖金属层，再于介层窗开口表面形成一钛/氮化钛阻障层。然后，于介层窗开口中填入一层导体层，以形成一介层窗插塞。
申请人：旺宏电子股份有限公司
地址：省新竹科学工业园区力行路16号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：王学强
更多信息请下载全文后查看
