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专利名称:面发射激光器专利类型:发明专利发明人:井上大辅
申请号:CN2020105378.X申请日:20200619公开号:CN112152082A公开日:20201229
摘要:本发明提供能够进行高速动作的面发射激光器。面发射激光器(100)具有:基板(20);下部接触层(122),设置在基板(20)上;半导体层的台面(30),在下部接触层(122)上依次层叠有下部反射镜层(123)、有源层(124)、上部反射镜层(125)和上部接触层(127);圆环状的电极(41),设置在上部接触层(127)上;光出射窗(31),射出电极(41)的圆环的内侧的激光,上部反射镜层(125)具有:第一区域(141),包含电极(41)及光出射窗(31)的正下方;及第二区域(142),包含设置有第一区域(141)的台面(30)内的第一区域(141)的周围及比台面(30)靠外侧的区域,第一区域(141)的质子的浓度比第二区域(142)的质子的浓度低。
申请人:住友电气工业株式会社
地址:日本大阪府大阪市
国籍:JP
代理机构:中原信达知识产权代理有限责任公司
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