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专利名称:准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置专利类型:实用新型专利发明人:水川,许柏,罗道南申请号:CN201320463852.5申请日:20130801公开号:CN203382851U公开日:20140108
摘要:本实用新型涉及一种准单晶铸锭炉的籽晶熔化厚度测试装置,包括底板、焊接波纹管、磁流体密封、活动板、导柱、电机、顶板、光栅尺、不锈钢丝绳、滑轮、配重、石英探棒、籽晶和坩埚系统。本实用新型结构合理,实现了在铸锭炉炉腔的高温及真空环境中,对籽晶的融化厚度进行监控测量,保证了对准单晶硅生产工艺的过程控制。
申请人:安徽大晟新能源设备科技有限公司
地址:237000 安徽省六安市霍邱县姚李镇街道
国籍:CN
代理机构:蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司
代理人:王琪
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