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专利名称:光学位移侦测装置及方法专利类型:发明专利发明人:王彦章,陈俊玮申请号:CN201210273424.6申请日:20120802公开号:CN103576909A公开日:20140212
摘要:本发明提出一种光学位移侦测装置及光学位移侦测方法。光学位移侦测装置,包含:光源,投射探照光至待测表面;影像撷取单元,其根据从待测表面反射的光线,以产生影像讯号;以及处理单元,根据影像讯号,产生曝光状态值与影像特征值,并根据初始曝光范围、曝光状态值与影像特征值,以决定曝光范围。
申请人:原相科技股份有限公司
地址:中国新竹
国籍:CN
代理机构:中原信达知识产权代理有限责任公司
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