一种具有氢致变色功能的多元合金薄膜及其制备方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200610023261.0 （22）申请日 2006.01.12 （71）申请人 复旦大学

地址 200433 上海市邯郸路220号

（10）申请公布号 CN1818126A （43）申请公布日 2006.08.16

（72）发明人 孙大林;方方;张晶;陈国荣 （74）专利代理机构 上海正旦专利代理有限公司

代理人 姚静芳

（51）Int.CI

C23C14/14; C23C14/34;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种具有氢致变色功能的多元合金薄膜及其制备方法

（57）摘要

本发明涉及一种具有“氢致变色”特性的

La－Mg－Ni合金和基于这种合金的多元合金薄膜及其制备方法。该合金薄膜具有氢化条件低、氢化速率快、光电学特性对比大、稳定性好和循环寿命长等特点。本发明中合金薄膜的制备方法是采用溅射法(包括电子束蒸发、磁控溅射和离子溅射等)，将合金块体材料通过同时沉积形成合金薄

膜或者分别沉积形成多层膜后再经退火形成微纳米级厚度的合金薄膜。所制得的合金薄膜将在氢气探测器、温度传感器、建筑材料(节能方面)，汽车后视镜，光学逻辑门、卫星和通讯方面有着重要的应用价值。

法律状态

法律状态公告日

2006-08-16 2006-10-11 2009-04-08

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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