一种高效光刻胶剥离液及其应用

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610971254.7 （22）申请日 2016.11.07

（71）申请人 苏州晶瑞化学股份有限公司

地址 215168 江苏省苏州市吴中经济开发区澄湖东路3号

（10）申请公布号 CN106292209A

（43）申请公布日 2017.01.04

（72）发明人 吴鹏珍;刘兵

（74）专利代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人 汪青

（51）Int.CI

G03F7/42;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种高效光刻胶剥离液及其应用

（57）摘要

本发明涉及一种高效光刻胶剥离液，它的

组成及质量百分含量为：季胺类化合物0.1~10%、非季胺类水溶性溶剂20~90%、金属保护剂0.1~2%、防腐剂0.1~2%、表面活性剂0.1~2%、二元醇/醚类有机化合物1~30%、烷基吡咯烷酮1~50%。通过选用特定的组成成分并调节其含量，能够实现对正性光刻胶和负性光刻胶的剥离兼容使用，这样在同一工艺中使用同种剥离

液，简化了流程，对化学品管理难度也降低；同时剥离硅片量大，也就变相降低了使用成本，同时也降低了光刻胶废液处理费用。

法律状态

法律状态公告日

2017-01-04 2017-01-04 2017-02-01 2017-02-01 2020-05-22

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

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说明书

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