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专利名称：具有铂复合中心的硅片材料的制备方法专利类型：发明专利发明人：王学良,陈宏
申请号：CN201410138053.X申请日：20140408公开号：CN104979192A公开日：20151014
摘要：本发明涉及一种具有铂复合中心的硅片材料的制备方法，所述方法包括如下步骤：（1）将硅片浸泡在铂掺杂溶液中，获得吸附了铂离子的硅片；（2）退火，获得铂掺杂的硅片；（3）采用盐酸和双氧水的混合溶液对步骤（2）得到的硅片进行清洗，取出晾干后获得具有铂复合中心的硅片材料。本发明提供的方法克服了现有技术采用蒸发或溅射进行铂掺杂的技术偏见，创新性的采用溶液对硅片材料进行铂掺杂，为具有铂复合中心的硅片材料的制备方法提供了一种新的思路。
申请人：无锡华润华晶微电子有限公司
地址：214135 江苏省无锡市新区太湖国际科技园菱湖大道180号-22
国籍：CN
代理机构：北京品源专利代理有限公司
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