专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：热式空气流量传感器专利类型：发明专利
发明人：石塚典男,南谷林太郎,半泽惠二申请号：CN201180035120.X申请日：20110706公开号：CN103003675A公开日：20130327
摘要：本发明的目的在于提供抑制形成于表面的最近处（最上层）的硅氧化膜的吸湿，降低计测误差的热式空气流量传感器。为了达成上述目的，本发明的热式空气流量传感器，对形成于表面的最近处（最上层）的硅氧化膜（4）使用硅、氧或者氩、氮等惰性元素中的至少某一种原子或者分子进行离子注入，使硅氧化膜（4）所含的原子的浓度比进行离子注入前高。
申请人：日立汽车系统株式会社
地址：日本茨城县
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：张靖琳
更多信息请下载全文后查看
