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专利名称：晶圆夹持防夹空机构专利类型：实用新型专利发明人：巩铁建,陶为银申请号：CN202021701244.X申请日：20200816公开号：CN212570937U公开日：20210219
摘要：本实用新型提供一种晶圆夹持防夹空机构，包括滑动设置在机架的晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括上夹持板、下夹持板以及夹持气缸，夹持气缸与机架连接并带动上夹持板或者下夹持板任一移动使其夹持或者松开；上夹持板和下夹持板之间设置检测其夹持压力的夹持板压力传感器，可以检测出其间有没有夹持晶圆托盘，防止夹空现象。
申请人：河南通用智能装备有限公司
地址：450001 河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号
国籍：CN
代理机构：郑州中原专利事务所有限公司
代理人：张春
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