低浓度清洗废水回用
一、 现有技术的缺陷
1、系统工艺流程
图一 水处理系统工艺流程图
从图一水处理系统工艺流程可看出，软水经过一系列的纯水设备处理后得到超纯水和高纯水，研磨工序排放的废水收集于研磨废水池，经过研磨废水回用设备，回收用于制备纯水的原水，在软水制备成纯水过程中的电、氮气、水消耗都比较高，成本较高，为此经与研磨工序负责人沟通后，其研磨工序所需水源水质无需达到高纯水水质标准，可在保证水源水质洁净，温度小于20度的前提下，降低水质标准，提高水资源利用率，降低运行成本。 2、生产车间清洗工序纯水使用、废水排放流程
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预湿单元高压喷淋盘刷1盘刷2低频中频滚刷1滚刷2二流体高频最终喷淋风刀纯水药剂箱药剂箱废水管清洗废水池 图二 生产车间清洗工序纯水使用、废水排放示意图
从图二生产车间清洗工序纯水使用、废水排放流程图中可看出，只有盘刷1、盘刷2、低频、中频工段中使用了清洗剂，使用后的清洗剂与其它工段使用的纯水统一通过同一管道排入清洗废水池，这种方法造成大部分清洗完后的纯水被清洗剂污染，无法进行回收利用。
二、发明目的
本发明的目的是通过一些管道改造，增加过滤设备将部分清洗废水回用与一级RO产水混合后用于研磨工序，降低水资源消耗和运行成本。
1．项目方案
1）、生产车间清洗工序废水排放管道改造
预湿单元高压喷淋盘刷1盘刷2低频中频滚刷1滚刷2二流体高频最终喷淋风刀纯水药剂箱药剂箱原废水管新增废水管清洗废水池经处理后（保证水质洁净，温度≤20°）供给研磨使用水箱 图三 生产车间清洗工序废水排放管道改造示意图
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将生产车间清洗废水工序低频、中频、盘刷1、盘刷2工段产生的带清洗剂的废水由新增管道排放至清洗废水池，此部分清洗废水通过提升泵提升至废水处理系统处理合格后排入污水管网。其它工段产生的清洗废水由原废水管道收集于水箱内，通过提升泵，经过滤器过滤后，输送至高纯水水箱与一级RO产水比列混合后用于研磨工序。 2）、水站内水系统改造
图四 原清洗废水管路改造及过滤后进入高纯水水箱示意图
水站内原清洗废水管道增加三通、管道接至回收水箱内，并在管道末端增加阀门，原清洗废水管道流向至清洗废水池端增加阀门，以便于控制清洗废水的回用量。回收后的清洗废水通过提升泵，提升至0.45um精密过滤器过滤后，输送至高纯水水箱与一级RO产水混合后用于研磨工序。
回收水箱在高液位的前提下，回用泵的启停根据高纯水水箱的液位进行控制，当高纯水水箱的液位处于低液位，提升泵自动启动，当高纯水箱液位升至高液位时，提升泵自动停止。回收水箱液位处于低位的情况下，高纯水水箱在低液位的情况下，提升泵也无法启动。
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图五 一级RO产水管改造示意图
水站内一级RO装置共A#、B#两套，选A#套作为改造对象，将产水管增加三通、管道接至高纯水水箱内，并在管道上增加阀门，控制水量。
A#一级RO装置原启停由一级RO水箱液位自动控制，水箱液位低，一级RO装置自动启动产水，水箱液位高，A#一级RO装置自动停止，现将A#一级RO启停控制由一级RO水箱液位更改为高纯水水箱液位，与清洗废水提升泵同时启动，通过调节各段阀门控制一级RO产水量与清洗废水回用量比列，以便达到最好效果。
三、实验例和对比例
通过调节各段阀门控制一级RO产水量与清洗废水回用量的混合比列， 以达到研磨工序水质要求，从而降低运行成本。通过检测一级RO产水与清洗废水混合后的pH、电导率、浊度、终端过滤器滤芯的更换周期，来判断高纯水出水水质，从而确定一个最佳的混合比列。
一级RO产水量与清洗废水回用量混合比列分别在1:1、2:1、3:1的情况，其混合水电导率、pH、浊度、滤芯更换周期参数如下表：
表一 一级RO产水与研磨回用水不同混合比例的水质参数 混合比例 1:2 1:3 1:1
电导率 us/cm 23.2 26.2 21.1 pH 8.33 8.4 8.37 4
浊度 MTU 滤芯更换周期 7天左右更换一次 3天左右更换一次 10天左右更换一次
2:1 3:1 19.65 16.49 8.23 8.14 15天左右更换一次 20天左右更换一次
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