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专利名称：一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉及
制备方法
专利类型：发明专利
发明人：潘勇,范清喜,陈浩,周兆锋,李凯,周杰申请号：CN201110082043.5申请日：20110401公开号：CN102185024A公开日：20110914
摘要：本发明涉及到一种采用固态硒源法对柔性CIGS太阳能电池预制层连续快速硒化处理形成具有黄铜矿相结构吸收层的硒化炉。炉子两侧设置传动装置，炉子的主体由四部分构成，分别为过渡段、快速加热区、高温硒硫化区和冷却区。过渡段、快速加热区和冷却区充满保护气氛，高温硒硫化区为氮气或氩气与Se、S蒸汽的混合气氛。炉腔为狭长的扁形通道，入口、出口以及各区相接对应位置留有窄缝，且有惰性气体形成的气幕防止空气进入及各区间气体互串。过渡段和冷却区配有水冷装置。高温硒硫化区炉腔下部设有气垫装置防止衬底背面被硫化。硒化炉的硒蒸汽供应装置实现硒蒸汽的方便的可控性。
申请人：湘潭大学
地址：411105 湖南省湘潭市西郊羊牯塘
国籍：CN
代理机构：长沙市融智专利事务所
代理人：颜勇
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